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本實用新型涉及半導體濕制程設備技術領域，特別是一種可旋轉波紋管裝置，波紋管本體為非金屬材質通過一體機械加工方式制造而成，自身具有拉伸壓縮功能，兩端分別與回轉法蘭一體成型組合成整體，實現一體回旋功能。本裝置可以同時實現旋轉和升降運動防護的功能...該專利屬于盛華基材（天津）科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過盛華基材（天津）科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及半導體濕制程設備技術領域，特別是一種可旋轉波紋管裝置，波紋管本體為非金屬材質通過一體機械加工方式制造而成，自身具有拉伸壓縮功能，兩端分別與回轉法蘭一體成型組合成整體，實現一體回旋功能。本裝置可以同時實現旋轉和升降運動防護的功能...