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    下載臥式雙蒸發光學鍍工藝及設備的技術資料

    文檔序號:38863828

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    本發明提供了臥式雙蒸發光學鍍工藝及設備,工藝步驟如下:將蒸發架拉出至鍍膜室外,并將兩種靶材分別放置在第一蒸發倉和第二蒸發倉內;結構件固定在蒸發架上,并推回鍍膜室內;對鍍膜室抽真空;兩種靶材進行輪流加熱蒸發,使兩種靶材有序附著至結構件表面;停...
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