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    下載一種改善蒸發鍍膜的臺階覆蓋的方法的技術資料

    文檔序號:40543551

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    本發明涉及電子器件制備技術領域,提供了一種改善蒸發鍍膜的臺階覆蓋的方法,包括以下步驟:提供一立體結構的基材,基材包括相鄰異面上的正向鍍膜面和側向鍍膜面,基材上還設有間隔物,間隔物與側向鍍膜面之間形成有縫隙;對基材進行蒸發鍍膜,蒸鍍粒子的入射...
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