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本發(fā)明提供了一種用于從工藝氣體產(chǎn)生等離子體的裝置，其包括：a)電源；b)空心陰極電弧管，其包括：i)惰性氣體入口，ii)陰極管，其連接到電源并且被設(shè)置為當(dāng)電源接通時為負(fù)偏壓，iii)陽極管，其連接到電源并且被設(shè)置為當(dāng)電源接通時為正偏壓，iv...該專利屬于納峰真空鍍膜（上海）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過納峰真空鍍膜（上海）有限公司授權(quán)不得商用。