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本申請公開了一種蒸鍍方法、FMM?Sheet的制作方法及掩膜版，該蒸鍍方法在蒸鍍時抵消或補償蒸鍍系統(tǒng)內(nèi)熱應(yīng)力。本發(fā)明蒸鍍后，基板上形成厚度及大小均基本均勻的沉積蒸鍍膜，從而提高了產(chǎn)品的質(zhì)量性能，生產(chǎn)出的產(chǎn)品可供高端客戶使用。...該專利屬于成都拓維高科光電科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過成都拓維高科光電科技有限公司授權(quán)不得商用。