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    下載一種用于生長晶體的智能晶體生長設備的技術資料

    文檔序號:41371944

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    本發明提供了一種用于生長晶體的智能晶體生長設備,仿真系統部件用于搭建虛擬爐體以進行生長仿真,得到仿真結果,并根據仿真結果確定晶體啟動生長功率;控制系統部件用于根據晶體啟動生長功率進行升溫;邊界條件提供部件用于監測爐體內的熔體溫度;仿真系統還...
    該專利屬于山東大學所有,僅供學習研究參考,未經過山東大學授權不得商用。

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