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本發明公開了一種快速退火爐系統用雙腔結構，屬于晶圓加工裝置領域。本發明中的腔體結構在石英腔體的上下層均設置有加熱燈，并通過單獨的燈功率控制器實現對各個燈管的功率調節及控制，采用熱襯墊輻射率獨立控制的方法，能夠更好的實現晶圓溫度均勻性控制；本...
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