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本發明涉及晶圓檢測技術領域，公開了一種視覺檢測運動三軸平臺，包括底座，所述底座上設有Y軸氣浮導軌，且Y軸氣浮導軌上設有X軸氣浮導軌，所述底座上還安裝有Z軸支架，且Z軸支架上設有Z軸氣浮導軌；所述X軸滑塊上設有限位翻轉組件，用于對放置在X軸滑...
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