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本發明公開了一種平面濺射靶材的綁定方法，該方法包括：首先對待綁定的綁定面進行表面處理，分別涂抹高分子膠粘劑，再依次將金屬銅網和靶坯放置于背板上，將靶材組件壓合后再進行加熱以加快固化，最后對固化冷卻后的靶材組件進行機加工，得到高分子膠粘綁定的...
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