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本發明公開了一種類金剛石碳基涂層及其制備方法，制備方法在制備DLC涂層時采用中頻磁控電源濺射石墨靶，通過調節工件偏壓，調節轟擊基體離子能量，進而控制涂層結構體系，制備出一種底層硬、表層軟的韌性增強的類金剛石碳基涂層，底部高硬度類金剛石碳基涂...
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