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本發(fā)明提供一種高壓熱處理裝置以及用于其的氣體監(jiān)測模塊,其中,包括:內部腔室,形成用于容納待熱處理的對象;外部腔室,具備:第一部分及第二部分,相面對設置以限定容納空間;以及內O型圈及外O型圈,配置于所述第一部分與所述第二部分之間的對應區(qū)域,在...該專利屬于HPSP有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過HPSP有限公司授權不得商用。
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