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本發明公開了一種用于橢偏測量系統中光路通斷自動控制的裝置和方法，包括用于產生偏振態探測光波、并將其入射到樣品上的起偏臂，及用于對經樣品反射后光波進行偏振態再調制和光能量檢測的檢偏臂，起偏臂包括線偏振光源和線性起偏器，其中線性起偏器固定在起偏...
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