溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
公開了一種VCSEL發(fā)光點和VCSEL陣列以及光學設(shè)備和VCSEL器件的制造方法。VCSEL發(fā)光點包括：發(fā)光點主體、VCSEL陽極和VCSEL陰極。發(fā)光點主體包括：襯底層、底部鏡部分、有源區(qū)、主限制層、頂部鏡部分和電極接觸層；其中底部鏡部分...該專利屬于浙江睿熙科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過浙江睿熙科技有限公司授權(quán)不得商用。