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公開了一種VCSEL發光點和VCSEL陣列以及光學設備和VCSEL器件的制造方法。所述發光點主體包括：襯底層、底部鏡部分、有源區、主限制層、頂部鏡部分和電極接觸層。底部鏡部分，所述底部鏡部分形成于所述襯底層上，所述底部鏡部分包括底部隧道結、...
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