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一種濕式排氣處理設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，使對(duì)來(lái)自電子零件制造工藝的排氣進(jìn)行處理的排氣處理設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，且所述方法的特征在于，所述排氣處理設(shè)備具有包括灑水機(jī)構(gòu)的濕式排氣處理裝置，將所述濕式排氣處理裝置中的水的pH設(shè)為5～8。排氣可包含鎢化合物。...該專(zhuān)利屬于栗田工業(yè)株式會(huì)社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)栗田工業(yè)株式會(huì)社授權(quán)不得商用。