溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本技術提供了一種MEMS傳感器，包括第一襯底及扭擺桿，扭擺桿相對的兩側均具有由內向外依次設置的檢測電容及扭擺塊，檢測電容的第一電極結構及第二電極結構由下至上依次設置于第一襯底上，扭擺塊的第一扭擺結構及第二扭擺結構由下至上依次設置于第一襯底上...
該專利屬于杭州士蘭集昕微電子有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過杭州士蘭集昕微電子有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。