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本申請提供了具有壓環的卡盤組件及探針臺。卡盤組件包括殼體、透光承載板、光源、及壓環，殼體圍設形成收容空間，透光承載板設于收容空間內，透光承載板具有用于承載待測晶圓的承載面，光源設于收容空間內且設于透光承載板背離承載面的一側，光源用于出射光線...該專利屬于深圳市森美協爾科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市森美協爾科技有限公司授權不得商用。
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