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本發明公開了一種用于研磨機臺的過濾裝置，其包括：上座和下座，所述上座和下座固定連接，所述上座和下座的連接處設置有過濾器，過濾器內部設置有可替換濾芯。本發明還公開了一種研磨機臺。本發明通過在原有機臺的基礎上，加裝了過濾器，過濾器通過螺紋連接，...該專利屬于和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司授權不得商用。
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