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本發(fā)明公開(kāi)了一種基于磁懸浮電機(jī)的晶圓清洗設(shè)備，包括：磁懸浮電機(jī)，所述磁懸浮電機(jī)包括定子、轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子的中部具有空腔，所述轉(zhuǎn)子上放置晶圓；定子升降機(jī)構(gòu)與所述定子固定連接，以驅(qū)動(dòng)所述定子沿軸向進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)；清洗組件包括至少一個(gè)噴頭、至少一個(gè)處...該專(zhuān)利屬于蘇州蘇磁智能科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)蘇州蘇磁智能科技有限公司授權(quán)不得商用。