溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
提供了一種計量系統(tǒng)和方法。所述方法包括：獲得從表征檢查工具的多個工具參數(shù)中選擇的工具參數(shù)集；多次改變來自所述集的每個工具參數(shù)的值，從而產(chǎn)生與所述工具參數(shù)集的變化值的多個組合相對應(yīng)的多個工具設(shè)置；用所述多個工具設(shè)置中的每個給定工具設(shè)置來配置所...該專利屬于應(yīng)用材料以色列公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過應(yīng)用材料以色列公司授權(quán)不得商用。