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本技術公開了一種硅片刻蝕機的下料裝置,涉及硅片加工設備領域,包括兩個支撐腿,兩個所述支撐腿的頂面均固定連接有支撐板,兩個所述支撐板的頂面共同固定連接有刻蝕機本體,兩個所述支撐板之間共同設有傳送帶,兩個所述支撐板的頂面均固定連接有支撐柱。本技...該專利屬于南軒(天津)科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經(jīng)過南軒(天津)科技有限公司授權不得商用。
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本技術公開了一種硅片刻蝕機的下料裝置,涉及硅片加工設備領域,包括兩個支撐腿,兩個所述支撐腿的頂面均固定連接有支撐板,兩個所述支撐板的頂面共同固定連接有刻蝕機本體,兩個所述支撐板之間共同設有傳送帶,兩個所述支撐板的頂面均固定連接有支撐柱。本技...