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本發(fā)明涉及半導體技術領域，公開了CMP中使用的納米氧化鈰的制備方法及其應用，包括以下步驟：步驟一、取硝酸鈰將其溶解在水溶液或者乙醇溶液中進行混合攪拌，得到前驅體溶液，在混合時也可以加入硝酸鑭和硝酸釹，得出混合的前驅體溶液；步驟二、向前驅體溶...該專利屬于龍巖英偉凌電子器件有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過龍巖英偉凌電子器件有限公司授權不得商用。
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