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本申請(qǐng)公開了一種基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置，涉及真空規(guī)技術(shù)領(lǐng)域。其中方法包括：真空規(guī)和控制模塊，所述控制模塊的兩端分別與所述真空規(guī)和被控設(shè)備連接；所述控制模塊，用于接收所述真空規(guī)測(cè)量的壓力信號(hào)，并根據(jù)所述壓力信號(hào)和預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力，控制所述被控設(shè)...該專利屬于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國(guó)科學(xué)院微電子研究所授權(quán)不得商用。