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本發明公開了一種驅動組件、晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法，涉及半導體技術領域，驅動組件至少包括驅動集成部，所述驅動集成部包括多個并列排布設置的直驅電機，且具有多個傳動層級高度；其中，所述驅動集成部的其中一個所述直驅電機驅動所述第一臂繞第二臂的肘...該專利屬于中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司授權不得商用。
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