溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明提供了對(duì)電極結(jié)構(gòu)及雙膜片MEMS麥克風(fēng)。雙膜片MEMS麥克風(fēng)包括基體和電容系統(tǒng)，電容系統(tǒng)包括間隔設(shè)置以形成收容腔的第一電極膜片和第二電極膜片，兩電極膜片在徑向方向上的截面形狀均為波紋狀，一電極膜片的波峰和另一電極膜片的波谷連接形成支撐...該專利屬于瑞聲科技（新加坡）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)瑞聲科技（新加坡）有限公司授權(quán)不得商用。