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    下載高溫薄膜熱電偶及其制備方法的技術(shù)資料

    文檔序號:44020159

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    本發(fā)明屬于薄膜傳感器技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種高溫薄膜熱電偶及其制備方法,包括由下至上依次布置的陶瓷基底、粘結(jié)層、敏感薄膜功能層以及氧化鋁保護層,并在所述敏感薄膜功能層中接線端的兩側(cè)設(shè)有電極層;所述電極層位于所述粘結(jié)層或陶瓷基底與氧化鋁保護層之間,...
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