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本發明屬于氧化物靶材技術領域，具體公開了一種氧化銦鎵鈦靶材及其制備方法和應用。本發明的氧化銦鎵鈦靶材的制備原料按質量份數計包括氧化銦95～99份、氧化鎵0.5～2份和二氧化鈦0.6～3份。本發明通過在氧化銦基靶材中摻雜合適比例的氧化鎵和二氧...該專利屬于中山智隆新材料科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中山智隆新材料科技有限公司授權不得商用。
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