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本申請公開了一種慣性傳感器及制造方法，制造方法包括：提供第一基板和第二基板，并將第二基板的底面與第一基板的頂面鍵合，其中，第一基板的頂面間隔設置有第一凹槽和第二凹槽，第二基板的頂面形成有第一鍵合位；在第二基板制作加速度計單元，以及在第二基板...該專利屬于中芯集成電路（寧波）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯集成電路（寧波）有限公司授權不得商用。
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