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本發明公開的一種金屬陶瓷超滑螺桿真空泵裝置，屬于真空泵技術領域。為解決當前微油螺桿真空泵運行過程中面臨的同步高速反向旋轉螺桿接觸界面潤滑效果差、磨損嚴重，無法保證無油螺桿真空泵高效、穩定、安全運行的難題，通過在螺桿金屬基體表面涂覆一定厚度的...該專利屬于奧錸斯（河南）智能科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過奧錸斯（河南）智能科技有限公司授權不得商用。
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本發明公開的一種金屬陶瓷超滑螺桿真空泵裝置，屬于真空泵技術領域。為解決當前微油螺桿真空泵運行過程中面臨的同步高速反向旋轉螺桿接觸界面潤滑效果差、磨損嚴重，無法保證無油螺桿真空泵高效、穩定、安全運行的難題，通過在螺桿金屬基體表面涂覆一定厚度的...