溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本公開的靜電卡盤裝置包括：平臺，在其上表面上具有圓形襯底附著區域(其中D<subgt;S</subgt;是該區域的直徑)，待處理的圓形襯底被靜電附著到該區域；以及嵌入在平臺中的ESC電極，其直徑D<subgt;E1<...
該專利屬于ASMIP私人控股有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過ASMIP私人控股有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。