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本申請涉及一種晶圓處理裝置及晶圓處理方法，該晶圓處理裝置包括粗對準單元和細對準單元中的至少一個；粗對準單元包括具有晶圓對準引導面的空心圓環，細對準單元包括檢測晶圓邊緣位置的晶圓位置檢測器和帶動晶圓移動的水平位移器；本申請通過在晶圓保持器的上...
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