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本申請涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括傳送盒、承載臺和氣體循環(huán)啟閉裝置。其中，傳送盒包括傳送盒進(jìn)氣口和傳送盒排氣口。承載臺包括承載臺進(jìn)氣口和承載臺排氣口。氣體循環(huán)啟閉裝置包括第一控制組件和第二控制組件。通過第一控制組件與第二控制組...該專利屬于星鑰（珠海）半導(dǎo)體有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過星鑰（珠海）半導(dǎo)體有限公司授權(quán)不得商用。