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本發明涉及半導體檢測技術領域，提供了一種四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測硅片的方法，其中四探針測量儀包括：四個探針；導電板，所述導電板具有與所述探針相對的孔洞，所述探針從所述孔洞中穿過；電壓控制器，連接于所述導電板，用于向...該專利屬于麥嶠里（上海）半導體科技有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過麥嶠里（上海）半導體科技有限責任公司授權不得商用。
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本發明涉及半導體檢測技術領域，提供了一種四探針測量儀、四探針測量系統及四探針測量儀測量待測硅片的方法，其中四探針測量儀包括：四個探針；導電板，所述導電板具有與所述探針相對的孔洞，所述探針從所述孔洞中穿過；電壓控制器，連接于所述導電板，用于向...