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本發明涉及傳感器技術領域,公開了一種具有在線檢測功能的微慣性開關,該微慣性開關在第一結構層的質量塊上側以及第二結構層下側分別設置第一極板和第二極板形成檢測電容器組,通過檢測檢測電容器組容值從而了解第一極板和第二極板之間的間隔距離或正對面積變...該專利屬于中國工程物理研究院電子工程研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國工程物理研究院電子工程研究所授權不得商用。
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本發明涉及傳感器技術領域,公開了一種具有在線檢測功能的微慣性開關,該微慣性開關在第一結構層的質量塊上側以及第二結構層下側分別設置第一極板和第二極板形成檢測電容器組,通過檢測檢測電容器組容值從而了解第一極板和第二極板之間的間隔距離或正對面積變...