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本申請提供了一種磨輪、晶圓磨削裝置及晶圓磨削方法，磨輪包括輪體，輪體的周側壁設有第一粗磨槽、第二粗磨槽、第一精磨槽以及第二精磨槽；第一粗磨槽的表面具有粗磨磨粒且用于修整待磨件的周向邊緣形狀；第二粗磨槽的表面具有粗磨磨粒且用于修整待磨件的直徑...該專利屬于西安奕斯偉材料科技股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過西安奕斯偉材料科技股份有限公司授權不得商用。
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