溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本技術提供了一種晶圓研磨盤用升降裝置、修整裝置及晶圓研磨裝置，包括殼體、動力器、第一位置傳感器和第二位置傳感器；動力器設于殼體，動力器包括升降驅動組件和升降軸，升降驅動組件用于控制升降軸升降；第一位置傳感器和第二位置傳感器位于升降軸的側邊。...該專利屬于上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本技術提供了一種晶圓研磨盤用升降裝置、修整裝置及晶圓研磨裝置，包括殼體、動力器、第一位置傳感器和第二位置傳感器；動力器設于殼體，動力器包括升降驅動組件和升降軸，升降驅動組件用于控制升降軸升降；第一位置傳感器和第二位置傳感器位于升降軸的側邊。...