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本發明提供了一種鍵合對準系統、鍵合設備及鍵合方法。所述鍵合對準系統包括：第一標靶，其上設有第一靶點，以標定晶圓的第一位置；透明的第二標靶，位于所述第一標靶與圖像采集裝置之間，其上設有第二靶點，以標定待鍵合件的第二位置；所述圖像采集裝置，用于...該專利屬于拓荊鍵科（海寧）半導體設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過拓荊鍵科（海寧）半導體設備有限公司授權不得商用。
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