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本申請公開了一種表面色差檢測方法、裝置、電子設備和存儲介質，該方法和裝置應用于電子設備，用于對碳化硅晶片的表面色差進行檢測。該表面色差檢測方法具體為采集碳化硅晶片經光源照射的透射光，得到碳化硅晶片的全局形貌數據；基于預設背景灰度值和灰度對比...該專利屬于江蘇天科合達半導體有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過江蘇天科合達半導體有限公司授權不得商用。
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