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本申請公開一種晶圓抓取裝置，包括：活動握柄、活動板、復位模塊、基板、夾緊輪和多個限位模塊；活動握柄的第一端與基板連接，活動握柄的第二端與活動板的第一端連接，活動板的第二端與夾緊輪連接；復位模塊分別與活動板和基板連接；限位模塊與基板連接，不同...該專利屬于華海清科（北京）科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過華海清科（北京）科技有限公司授權不得商用。
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