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本發明公開了一種化學機械拋光液，所述化學機械拋光液的各成分質量百分含量如下：研磨顆粒0.8％～10％、增速劑0.001％～0.5％、酰胺基吉米奇季銨鹽陽離子表面活性劑0.001％～0.5％、環狀低聚糖類化合物0.001％～1％，余量為水。本...該專利屬于齊芯微（紹興）電子材料科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過齊芯微（紹興）電子材料科技有限公司授權不得商用。
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