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本發(fā)明提供的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法及系統(tǒng)，涉及人工智能技術領域。在本發(fā)明中，首先，確定出光刻圖案語義向量；其次，通過蝕刻工藝評估網(wǎng)絡包括的向量空間轉換單元，對光刻圖案語義向量進行空間轉換操作，輸出對應的光刻圖案轉換向量；然后，依據(jù)光...該專利屬于深圳市盛鴻運科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過深圳市盛鴻運科技有限公司授權不得商用。