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本發明公開了一種螺栓、半導體設備及螺栓的制作方法，螺栓包括螺栓本體、彈性件以及密封件，彈性件的一端插入螺栓本體內，另一端與密封件配合；密封件具有與螺栓本體的凹槽間隙配合的第一狀態以及與螺栓本體的凹槽緊密配合的第二狀態。在本發明中，密封件具有...
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