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本發明公開了一種分布式反饋激光器與電吸收型調制器波導的耦合方法,包括:取一具有電吸收型調制器和波導的襯底,在襯底上形成帶有定位結構的自對準微腔;在自對準微腔中制作微腔金屬薄膜電極和焊料層;在分布式反饋激光器上制作自對準標記;將分布式反饋激光...該專利屬于中國電子科技集團公司第四十四研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國電子科技集團公司第四十四研究所授權不得商用。
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本發明公開了一種分布式反饋激光器與電吸收型調制器波導的耦合方法,包括:取一具有電吸收型調制器和波導的襯底,在襯底上形成帶有定位結構的自對準微腔;在自對準微腔中制作微腔金屬薄膜電極和焊料層;在分布式反饋激光器上制作自對準標記;將分布式反饋激光...