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一種粗糙度影響極紫外曲面多層膜反射鏡平均反射率的評估方法，包括制作與待評估極紫外曲面多層膜反射鏡輪廓相同的鍍膜夾具，該鍍膜夾具上均勻分布有供小尺寸平面元件樣品鍍膜的孔；獲取不同位置處小尺寸平面多層膜反射鏡樣品的表面粗糙度；計(jì)算每個(gè)小尺寸平面...該專利屬于中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所授權(quán)不得商用。