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本發明涉及一種硬質低摩擦TaCN/NbCN納米多層膜及其制備方法，該納米多層膜屬于涂層制備技術領域。所述納米多層膜由交替層疊設置的TaCN層和NbCN層構成，通過在TaC和NbC中摻雜氮元素，提升膜的硬度并降低摩擦系數。調制層厚度對硬度有顯...
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