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本發(fā)明公開一種光刻膠主體材料、其制備方法及包含其的光刻膠組合物和光刻膠涂層。所述光刻膠主體材料的通式結構如式I所示。在本發(fā)明的技術方案中，以自制碳量子點為主體結構進行功能基團修飾得到光刻膠主體材料，然后以此為原料制備光刻膠組合物和光刻膠涂層...該專利屬于中國科學院理化技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院理化技術研究所授權不得商用。
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本發(fā)明公開一種光刻膠主體材料、其制備方法及包含其的光刻膠組合物和光刻膠涂層。所述光刻膠主體材料的通式結構如式I所示。在本發(fā)明的技術方案中，以自制碳量子點為主體結構進行功能基團修飾得到光刻膠主體材料，然后以此為原料制備光刻膠組合物和光刻膠涂層...