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本發明公開一種基于模型計算的紅外材料光學均勻性檢測方法。利用球面干涉儀搭建斜入射平板樣品表面的面形檢測光路，調整球面反射鏡使得干涉條紋稀疏；再將樣品翻轉180°，對平板樣品的另一個表面面形進行測量；利用球面干涉儀搭建正入射平板樣品表面的光學...
該專利屬于北京空間機電研究所所有，僅供學習研究參考，未經過北京空間機電研究所授權不得商用。

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