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本申請涉及一種濕敏電容及濕度測量裝置,包括:基板,以及位于基板上且沿垂直基板頂面的方向依次分布的加熱層、絕緣層、第一電極層、濕敏介質層及第二電極層;基板的底面包括凹槽,加熱層在基板頂面的正投影位于凹槽在基板頂面的正投影以內;絕緣層至少覆蓋加...該專利屬于深圳市匯投智控科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過深圳市匯投智控科技有限公司授權不得商用。
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