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本發(fā)明提供了一種真空吸嘴、鍵合設(shè)備及方法。所述真空吸嘴，其特征在于，包括：本體，其內(nèi)部設(shè)有一空腔，其中，所述空腔的一端連通真空機構(gòu)，而其另一端對準一帶孔的蒙皮，以構(gòu)成一可形變的吸附部；以及伸縮部，位于所述空腔的內(nèi)部，并經(jīng)由其球面的一端擠壓所...該專利屬于拓荊鍵科（海寧）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過拓荊鍵科（海寧）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司授權(quán)不得商用。