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本發(fā)明提供了一種快速熱處理用碳化硅托盤及快速熱處理方法，所述快速熱處理用碳化硅托盤包括碳化硅基盤，所述碳化硅基盤上設(shè)置至少三組冷卻臺(tái)限位口、晶圓限位柱和通孔，所述冷卻臺(tái)限位口、晶圓限位柱和通孔分別等分設(shè)置于所述碳化硅基盤上，其中，所述冷卻臺(tái)...該專利屬于無錫邑文微電子科技股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過無錫邑文微電子科技股份有限公司授權(quán)不得商用。